ARTESYN N1204-1XXX电源 维修
PDX 7.5K 、 PDX 8000 、 PDW 600 、 PDW 2200
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Ion Beam Drive : ID-3500 、 IT-3500
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PDX : PDX 500 、 PDX 1400 、 PDX 2500 、 PDX 5000
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PE: PE 1000 、 PE 2500 、 PE 3750 、 P E-20K
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PDP 2500 、 PEP 2500 、 PEP 5000
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服务范围:刻蚀、RIE、平行板、ICP、pecvd、射频溅射、CVD 和PVD等系统,
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