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维修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP,PLASMA的设备电源,包括直流、高压、脉冲、射频、微波、匹配器、RPSC、CHILLER。服务:拥有一批技术人才,进口射频电源工程技术支持,消化吸收国外技术基础上发展,锻炼培养十几名的维修工程师。测试仪器设备,以及丰富的图纸技术资料。
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我们本着“精益求精”的服务宗旨,努力提高维修技术,扩展测试手段,丰富维修经验,更新测试设备,积累一些常见的维修技巧,为用户排忧解难,从而更快、更好的服务于用户。
维修内容包括排除以知的故障,对老化、损坏的元器件进行更换,并对整机内外进行的清洗和保养等。
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