维修半导体设备电源，主要有高压电源（High Power Supply）、框架式可控大功率直流电源（DC Power Supply）、射频电源(RF Generator)、微波发生器(Microwave Power Supply)及RF Match、Smart Match等设备维修。
一、RF Generator射频电源维修和配套直流电源

KYOSAN射频电源/直流电源

AE（ADVANCED ENERGY）射频电源/直流电源

MKS ENI射频电源/直流电源


ASTeX Smart Match
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