我司维修涉及行业有半导体制造设备、电镀设备电源、公司拥有维修工程师团队，对各种大功率开关电源、AE电源、RF射频电源、高频电源、高压电源、交流可编程电源等有深厚的维修功底和丰富的维修经营。射频电源维修 RF Generator Repair 型号 LF10A RFPP
Ion Beam Drive ： ID-3500 、  IT-3500

PDX ： PDX 500 、 PDX 1400 、 PDX 2500 、 PDX 5000

Dressler LFGS:LFGS 1250A 、  LFGS:LFGS 1250D

PDP 2500 、 PEP 2500 、 PEP 5000

PE: PE 1000 、 PE 2500 、 PE 3750 、  P E-20K

服务范围：刻蚀、RIE、平行板、ICP、pecvd、射频溅射、CVD 和PVD等系统，
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