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维修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP，PLASMA的设备电源，包括直流、高压、脉冲、射频、微波、匹配器、RPSC、CHILLER。服务：拥有一批技术人才，进口射频电源工程技术支持，消化吸收国外技术基础上发展，锻炼培养十几名的维修工程师。测试仪器设备，以及丰富的图纸技术资料。

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