同时为各地区的半导体、数据存储、光电子、真空镀膜、平板显示、研究所等行业提供级射频电源维修保养。为 ENI/AE DC POWER & RF GENERATOR 提供维修维护服务。
PE: PE 1000 、 PE 2500 、 PE 3750 、  P E-20K

PDX ： PDX 500 、 PDX 1400 、 PDX 2500 、 PDX 5000

Ion Beam Drive ： ID-3500 、  IT-3500

Dressler LFGS:LFGS 1250A 、  LFGS:LFGS 1250D

PDP 2500 、 PEP 2500 、 PEP 5000

AD-TECRF射频电源 AX-2000EUII RF 发生器 等离子 匹配器维修  ULVAC RFS-2780A 27.12MHz 8kW RF射频电源，射频发生器维修
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