主要维修 AE( Advanced Energy) 、 ENI （ MKS ）等 RF 射频电源及直流电源 。
PDX 7.5K 、 PDX 8000 、 PDW 600 、 PDW 2200

Ion Beam Drive ： ID-3500 、  IT-3500

PDP 2500 、 PEP 2500 、 PEP 5000

PDX ： PDX 500 、 PDX 1400 、 PDX 2500 、 PDX 5000

PE: PE 1000 、 PE 2500 、 PE 3750 、  P E-20K

AD-TECRF射频电源 AX-2000EUII RF 发生器 等离子 匹配器维修  ULVAC RFS-2780A 27.12MHz 8kW RF射频电源，射频发生器维修
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