主要维修 AE( Advanced Energy) 、 ENI （ MKS ）等 RF 射频电源及直流电源 。
Ion Beam Drive ： ID-3500 、  IT-3500

PDP 2500 、 PEP 2500 、 PEP 5000

Dressler LFGS:LFGS 1250A 、  LFGS:LFGS 1250D

PE: PE 1000 、 PE 2500 、 PE 3750 、  P E-20K

PDX ： PDX 500 、 PDX 1400 、 PDX 2500 、 PDX 5000

服务范围：刻蚀、RIE、平行板、ICP、pecvd、射频溅射、CVD 和PVD等系统，
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