同时为各地区的半导体、数据存储、光电子、真空镀膜、平板显示、研究所等行业提供级射频电源维修保养。为 ENI/AE DC POWER & RF GENERATOR 提供维修维护服务。
PDX 7.5K 、 PDX 8000 、 PDW 600 、 PDW 2200

PE: PE 1000 、 PE 2500 、 PE 3750 、  P E-20K

Ion Beam Drive ： ID-3500 、  IT-3500

PDX ： PDX 500 、 PDX 1400 、 PDX 2500 、 PDX 5000

PDP 2500 、 PEP 2500 、 PEP 5000

服务范围：刻蚀、RIE、平行板、ICP、pecvd、射频溅射、CVD 和PVD等系统，
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