主要维修 AE( Advanced Energy) 、 ENI ( MKS )等 RF 射频电源及直流电源 。
PE: PE 1000 、 PE 2500 、 PE 3750 、 P E-20K
Ion Beam Drive : ID-3500 、 IT-3500
PDX : PDX 500 、 PDX 1400 、 PDX 2500 、 PDX 5000
PDX 7.5K 、 PDX 8000 、 PDW 600 、 PDW 2200
Dressler LFGS:LFGS 1250A 、 LFGS:LFGS 1250D
工业系统中感应加热和电介质加热设备的电源,烘干、塑化焊接、硅晶体生长和平板显示器领域应用电源,直流偏压和硬镀膜,信息技术设备(ITE)及轻工业系统 设备。
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