维修半导体设备电源,主要有高压电源(High Power Supply)、框架式可控大功率直流电源(DC Power Supply)、射频电源(RF Generator)、微波发生器(Microwave Power Supply)及RF Match、Smart Match等设备维修。
一、RF Generator射频电源维修和配套直流电源
AE(ADVANCED ENERGY)射频电源/直流电源
MKS ENI射频电源/直流电源
KYOSAN射频电源/直流电源
MUEGGE Microwave Power Supply微波电源
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